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单晶锗晶体生长的系统、方法和衬底技术方案
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文档序号:7166350
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公开了关于单晶锗(Ge)生长的系统、方法和衬底。在一个示例性实施方案中,提供了一种生长单晶锗(Ge)晶体的方法。此外,所述方法可包括将第一Ge原料装入一个坩埚中,将第二Ge原料装入一个用以补充Ge熔体材料的容器中,将所述坩埚和容器密封在所述...
该专利属于AXT公司所有,仅供学习研究参考,未经过AXT公司授权不得商用。
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