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动态探针检测系统（２９、３２）用于包括探针（１８）的类型的扫描探针显微镜，该探针（１８）重复地向样品表面和远离样品表面地移动。当扫描样品表面时，干涉仪（８８）产生用于指示在从探针（８０ａ、８０ｂ、８０ｃ）反射的光和高度基准光束之间的路径差的...
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