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结场效应晶体管装置结构及其制作方法制造方法及图纸
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文档序号:7162037
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根据本发明技术,提供一种JFET装置结构及其制作方法。具体来说,提供包含具有源极(84)及漏极(86)的半导体衬底的晶体管(80)。所述晶体管(80)还包含形成于所述半导体衬底中所述源极(84)与所述漏极(86)之间的经掺杂沟道(88),所...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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