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一种制造衬底的方法包括在衬底上形成隔开第一特征及隔开第二特征。所述第一特征及第二特征相互交替且相对于彼此隔开。在横向修整所述隔开第二特征的宽度的同时，将所述隔开第二特征的宽度横向修整到比对所述隔开第一特征的宽度的任何横向修整更大的程度。在对...
该专利属于美光科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过美光科技公司授权不得商用。

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