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本发明公开了一种用于通过激光烧蚀方法在基底上成像的具有稀疏图案的掩模。所述掩模具有多个透光的孔以及所述孔周围的不透光区域。所述孔单独地形成完整图案的一部分，当用所述掩模成像时，一个或多个掩模的多个孔一起形成所述完整图案。将掩模制成具有稀疏图...
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