下载用于制造发射辐射的薄膜器件的方法和发射辐射的薄膜器件的技术资料

文档序号:7157061

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在用于制造发射辐射的薄膜器件(1)的方法的至少一个实施形式中,该方法具有以下步骤:-提供衬底(2),-在衬底(2)上生长纳米棒(3),-在纳米棒(3)上外延生长具有至少一个有源层(5)的半导体层序列(4),-在半导体层序列(4)上施加支承体...
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