下载使用光解和/或热化学气相沉积法涂布容器内部的系统、设备和方法的技术资料

文档序号:7156628

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本发明提供系统、设备和方法来将阻挡和/或润滑剂材料涂覆到容器的内表面上,所述系统包括具有腔室的容器;气体供应源,用于经具有延伸到所述腔室的部分的进气口管道供应单体气体;光解源和/或热解表面,用于使所述单体气体的至少一部分光解和/或热解以形成...
该专利属于贝克顿·迪金森公司所有,仅供学习研究参考,未经过贝克顿·迪金森公司授权不得商用。

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