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具有冷却剂气体孔洞的紫外线反射器及紫外线处理方法技术
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下载具有冷却剂气体孔洞的紫外线反射器及紫外线处理方法的技术资料
文档序号:7154874
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一种用于紫外线灯的反射器,其可使用于基材处理设备中。该反射器包含延伸该紫外线灯长度的纵向带。该纵向带具有一弯曲反射表面并且包含数个穿透孔洞以导引冷却剂气体朝向该紫外线灯。在此亦描述使用附有反射器的紫外线灯模块的腔室以及紫外线处理的方法。...
该专利属于应用材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。
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