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本申请涉及用于示踪气体泄漏检测的校准系统和方法。具有气体泄漏检测器的校准系统提供示踪气体泄漏检测，该检测器具有：测试端口，接收包含示踪气体的样品并与真空泵联接；校准泄漏，提供包含示踪气体的校准样品；质量过滤器，在操作模式下与测试端口联接以接...
该专利属于瓦里安有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瓦里安有限公司授权不得商用。

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