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结构化柱电极制造技术
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文档序号:7152063
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本发明描述一种包括分散在基底触点上的多个结构化柱的电极及其制造方法。在一个实施方式中,结构化柱是具有圆形横截面的柱状结构,并作为均匀隔开的二维阵列分散在基底表面上。优选地,结构化柱的高度、直径和间距是纳米级的,并且因此,将包括柱的电极识别为...
该专利属于布鲁克哈文科学协会所有,仅供学习研究参考,未经过布鲁克哈文科学协会授权不得商用。
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