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提供一种溅射设备和一种使用该溅射设备的多层膜形成方法，所述溅射设备通过有效地使用靶以高生产率和较少的螺旋形状形成多层膜。多层膜溅射设备的实施方式包括：能转动的阴极单元（３０），所述阴极单元（３０）具有相对于转动中心被配置于同一圆周上的阴极（...
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