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本发明涉及一种用于监控具有转动研磨件的研磨系统的负载状态的方法，其中在第一频率范围以及第二频率范围内检测由磨料施加于所述研磨件上的动力，所述第一频率范围包含所述研磨件的基本振荡，而所述基本振荡的第一谐波在所述第二频率范围内出现；以及在所述第...
该专利属于坡利西斯股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过坡利西斯股份公司授权不得商用。

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