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本发明涉及一种多层衬底结构，其包括：至少一个载体层（１１）；第一层（１２），所述载体层和第一层彼此接触；和至少一个第二层（１３），其具有不同于第一层的化学成分，所述第一层和第二层彼此接触，第二层形成若干开孔，每个开孔具有至少一个小于衍射极限...
该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。

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