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提出了一种对设备的具有Ｎ≥２的自由度ｘ１，．．．，ｘＮ－１，ｚ的运动进行控制的方法。该方法包括步骤：确定近似目标ｘ－位置ｘｅｎｄａｐｐ＝（ｘ１，ｅｎｄａｐｐ，．．．，ｘＮ－１，ｅｎｄａｐｐ）；计算第一ｚ－轨迹ｚｕｐ（ｔ）；计算设备从开始ｘ－...该专利属于Ｋ＆Ｓ芯片键合设备产业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过Ｋ＆Ｓ芯片键合设备产业有限公司授权不得商用。
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提出了一种对设备的具有Ｎ≥２的自由度ｘ１，．．．，ｘＮ－１，ｚ的运动进行控制的方法。该方法包括步骤：确定近似目标ｘ－位置ｘｅｎｄａｐｐ＝（ｘ１，ｅｎｄａｐｐ，．．．，ｘＮ－１，ｅｎｄａｐｐ）；计算第一ｚ－轨迹ｚｕｐ（ｔ）；计算设备从开始ｘ－...