下载铈氧化物粒子的液体悬浮液和粉末、其制备方法及其在抛光中的用途的技术资料

文档序号:7145503

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本发明涉及铈氧化物粒子的悬浮液,其粒子(二级粒子)具有至多200nm的平均尺寸,这些二级粒子由如下的初级粒子构成:该初级粒子由TEM测定的尺寸具有至多150nm的平均值,所具有的标准偏差的值为所述平均尺寸值的至多30%,并且由TEM测定的平...
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