下载用于控制在多个气体流束之间的气体流量的方法的技术资料

文档序号:7143243

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本发明涉及用于控制在一个或多个流入流束与一个或多个流出流束之间通过会合点的气体流量的方法和设备。方法使用通过将流入质量流量测量值的总和与流出质量流量测量值的总和相比较、并加上偏置分量以提供偏置质量流量不平衡值而得到的偏置质量流量不平衡值。调...
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