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本发明涉及包含非晶碳化硅基膜的抗反射涂层，该膜进一步含有氢原子，以及任选地进一步含有氧和／或氮，该膜具有约２．３～２．７的有效折射率（ｎ）以及在６３０ｎｍ波长处少于０．０１的消光系数（ｋ）。本发明也涉及制备抗反射涂层的方法以及包含抗反射涂层...
该专利属于乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司授权不得商用。

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