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与基板运送装置有关的一个问题是，当第一基板（１）放到升降台（１１）上并从上工作台（１０）向下工作台（２０）运送时，如图２所示在上工作台（１０）上已经完成了紫外清洁处理的第二基板（２）需要等待，因此，由于通过供应和排放部（１５）提供其他基板中...
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