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本发明提供一种在具有多个导电层的电子衬底中的多壁通路结构。所述多壁通路结构包括：外部通路，其耦合到一对所述导电层；内部通路，其位于所述外部通路内且耦合到所述同一对导电层；及电介质层，其位于所述内部通路与外部通路之间。在各种实施例中，所述对导...
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