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本发明涉及一种用于旋转靶的支撑件，其具有大致为中心穿孔的圆盘的形状。所述支撑件是由基于镍的结构硬化的超级合金的材料制成的并且其形状是具有周边薄区域的圆盘。该周边薄区域和围绕中心孔的厚区域被斜率在３°至１０°之间的凹进区域隔开，并且所述周边薄...
该专利属于阿尔卡特朗讯公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿尔卡特朗讯公司授权不得商用。

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