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用于制造硅薄膜太阳能电池模块的等离子内侧气相沉积装置包括：支撑衬底的构件，衬底具有外表面和内表面；位置靠近内表面用于在衬底内表面上沉积至少一个薄膜层的等离子炬构件，等离子炬构件位于距离衬底一定距离处；和用以供应反应物化学物质到等离子炬构件的...
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