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公开的是一种具有高介电常数和高温耐热性的介电膜。在一个实施方案中的介电膜(103)包括含有元素A、元素B以及含有N和O的复合氮氧化物,元素A由Hf构成,元素B由Al或Si构成,该介电膜(103)中元素A、元素B和N的摩尔分数根据B/(A+B...
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