下载角速度传感器、电子设备以及角速度的检测方法的技术资料

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公开了一种角速度传感器、电子设备以及角速度的检测方法,其允许在平面内高精度地检测绕厚度方向上的轴的角速度。具体公开了一种角速度传感器,包括环形框架(10)、驱动部以及检测部。该框架包括第一梁的组(11a,11b)和第二梁的组(12a,12b...
该专利属于索尼公司所有,仅供学习研究参考,未经过索尼公司授权不得商用。

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