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文档序号:7129962
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本发明涉及激光器参数调整,提供了一种用于从组件利用激光器移除衬底的方法。该方法包括以下步骤:将具有不同功率水平或不同激光器速度水平的激光在多个不同位置处施加到组件,以从组件移除所述衬底的一部分并且由此在所述组件上产生多个标记;测量不同标记并...
该专利属于录象射流技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过录象射流技术公司授权不得商用。
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