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以氧化钛为主要成分的薄膜和以氧化钛为主要成分的烧结体溅射靶制造技术
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下载以氧化钛为主要成分的薄膜和以氧化钛为主要成分的烧结体溅射靶的技术资料
文档序号:7129040
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一种以氧化钛为主要成分的薄膜,其特征在于,含有钛、氧和铜,Ti为29.0原子%以上、34.0原子%以下,Cu为0.003原子%以上、7.7原子%以下,余量包含氧和不可避免的杂质,并且氧成分与金属成分之比O/(2Ti+0.5Cu)为0.96以...
该专利属于吉坤日矿日石金属株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过吉坤日矿日石金属株式会社授权不得商用。
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