下载以氧化钛为主要成分的薄膜和以氧化钛为主要成分的烧结体溅射靶的技术资料

文档序号:7129040

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一种以氧化钛为主要成分的薄膜,其特征在于,含有钛、氧和铜,Ti为29.0原子%以上、34.0原子%以下,Cu为0.003原子%以上、7.7原子%以下,余量包含氧和不可避免的杂质,并且氧成分与金属成分之比O/(2Ti+0.5Cu)为0.96以...
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