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本发明提供一种薄膜压电谐振器以及使用它的薄膜压电滤波器。包括：基板（６）、压电层（２）、具有上部电极（１０）以及下部电极（８）的压电谐振器叠堆（１２）、和空隙（４）。压电谐振器叠堆（１２）具有沿厚度方向看时上部电极和下部电极相互重叠的振动区...
该专利属于宇部兴产株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过宇部兴产株式会社授权不得商用。

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