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三轴磁场传感器制造技术
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文档序号:7127785
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三个电桥电路(101、111、121)每一均包括耦合成惠斯通电桥(100)的磁电阻传感器,以在三个正交方向(110、120、130)上感测磁场(160),它们是通过单个钉扎材料淀积和体晶片设定工序来设定的。三个电桥电路中的一个(121)包括...
该专利属于艾沃思宾技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过艾沃思宾技术公司授权不得商用。
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