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本发明的课题是提供一个在高洁净、高纯度的状态下，能够产生并维持稳定的高密度等离子体的等离子体装置。解决上述课题的技术方案是：配有第１等离子体生成室１０（配有气体供应口１２和等离子体出口１３）、第１等离子体生成装置１１（在不暴露在第１等离子体...
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