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本发明涉及一种包括“绝缘体上半导体”型衬底(1)的支撑衬底(2)上的电连接触头的测试方法。该方法的特征在于包括下列步骤:a)获取“绝缘体上半导体”型衬底(1),所述“绝缘体上半导体”型衬底(1)包括完全被绝缘体层(3)覆盖的支撑衬底(2)和...该专利属于S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司授权不得商用。
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本发明涉及一种包括“绝缘体上半导体”型衬底(1)的支撑衬底(2)上的电连接触头的测试方法。该方法的特征在于包括下列步骤:a)获取“绝缘体上半导体”型衬底(1),所述“绝缘体上半导体”型衬底(1)包括完全被绝缘体层(3)覆盖的支撑衬底(2)和...