下载硅污泥的洗涤方法的技术资料

文档序号:7125950

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本发明提供一种硅污泥的洗涤方法,该方法如下:使硅污泥的硅粉发生臭氧氧化,在除去有机物和形成硅氧化膜后,除去臭氧,通过分散到盐酸中来溶解金属杂质。接着,除去盐酸的上清液,用超纯水淋洗后,用氢氟酸溶解硅氧化膜,除去硅粉的表层中的金属杂质。...
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