下载一种单轴压电驱动的弱磁场测量传感器的技术资料

文档序号:7122229

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本发明提供一种单轴压电驱动的弱磁场测量传感器,包括绝缘基底、GMR敏感元件、两个相同的磁力线聚集器、调制膜、微悬臂梁和压电陶瓷薄片。在绝缘基底表面上镀有三对电极;两个磁力线聚集器分别固定在GMR敏感元件两端的绝缘基底表面上,GMR敏感元件两...
该专利属于中国人民解放军国防科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国人民解放军国防科学技术大学授权不得商用。

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