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多晶硅还原铸锭联合生产装置主要由含夹套冷却水的生产装置上、下壳体、混合气进、出气管、电极、U型发热体、坩埚、隔热材料、电加热器、热交换台、伺服电机、驱动丝杠、支架及其他附属部件组成，壳体主体采用不锈钢材质制成，以减少设备材质对产品的污染，其...
该专利属于王存惠所有，仅供学习研究参考，未经过王存惠授权不得商用。

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