下载一种自由曲面面型检测系统的技术资料

文档序号:7117401

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本发明公开了一种自由曲面面型检测系统,包括:激光发生器、准直镜、第一计算全息元件、第二计算全息元件、投影镜、照明系统、空间滤波器、CCD图像传感器;其中,所述第一计算全息元件用于对所述平行光进行第一次衍射;所述第二计算全息元件用于衍射经第一...
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