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相位调制同步积分相移干涉测量方法及装置制造方法及图纸
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文档序号:7117398
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本发明属于光学测试技术。为实时监测和控制相位调制度,实现对光学透镜表面形貌、光学透镜波像差,光学传递函数等的高精度动态测量,本发明采取的技术方案是,相位调制同步积分相移干涉测量方法及装置,包括下列步骤:采用激光器驱动器驱动激光器产生激光,依...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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