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一种多晶硅生产过程中三氯氢硅还原循环氢气提纯氢气的方法。采用金属钯复合膜氢气纯化器对三氯氢硅还原循环氢气中的各种杂质进行拦截，使得氢气的纯度提高1-3个数量级，各种杂质浓度降低1-3个数量级。当循环氢气中氯化氢HCl含量超过3ppm时，需要...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所;王新平所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院大连化学物理研究所;王新平授权不得商用。

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