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传感器器件和制造方法技术
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文档序号:7106985
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本发明公开了一种传感器器件(10),包括承载感测元件(110)的基板(100)以及在所述基板上用于为所述感测元件提供互连的金属化堆叠,所述金属化堆叠包括:被绝缘层(120a-d)分离的多个图案化金属层(130a-d),其中,第一金属层(13...
该专利属于NXP股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过NXP股份有限公司授权不得商用。
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