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本发明提供了微机电麦克风及其制作方法，所述微机电麦克风包括：形成于半导体基片一侧表面，暴露于外界环境中，能够感应由声波产生的压力而自由振动的振膜；位于振膜底部，且具有导气孔的电极板；固定所述振膜以及电极板的隔离结构；位于振膜以及电极板之间的...
该专利属于江苏丽恒电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏丽恒电子有限公司授权不得商用。

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