温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉热场,包括炉体、设置在炉体内的坩埚、设置在坩埚下方的热交换平台,以及若干支撑柱,支撑柱连接在热交换平台与炉体的底部之间,用于支撑热交换平台及坩埚;坩埚容积量为480-550kg。本实用新型通过降低热交换平台的高...该专利属于石金精密科技(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过石金精密科技(深圳)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉热场,包括炉体、设置在炉体内的坩埚、设置在坩埚下方的热交换平台,以及若干支撑柱,支撑柱连接在热交换平台与炉体的底部之间,用于支撑热交换平台及坩埚;坩埚容积量为480-550kg。本实用新型通过降低热交换平台的高...