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环形低场活性气体和具有绝缘真空容器的等离子体源制造技术
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下载环形低场活性气体和具有绝缘真空容器的等离子体源的技术资料
文档序号:7102191
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本申请涉及环形低场活性气体和具有绝缘真空容器的等离子体源,描述了用于等离子体系统的等离子体点火和冷却装置和方法。装置(300)包括容器(390)以及与该容器相邻的至少一个点火电极(330)。该至少一个点火电极的尺寸(D)的总长度大于容器通道...
该专利属于MKS仪器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过MKS仪器股份有限公司授权不得商用。
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