下载一种刀具表面多元复合硬质薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:7102056

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本发明公开一种刀具表面多元复合硬质薄膜的制备方法,涂层材料为高纯度的Ti、Cr、AL金属和N2、Ar,在非平衡磁控溅射离子镀设备内,在电磁场和等离子场的作用下,Ti、Cr、AL、Ar和N2电离成离子,在电场作用下在刀具表面反应生成TiN/A...
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