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本发明提供一种掩模版附着颗粒物比对管理方法，包括以下步骤：依据掩模版的等级设定不同等级的掩模版上附着颗粒物的比对标准；将掩模版送入扫描机台中进行颗粒物扫描，得出扫描结果；依据掩模版的等级选择已设定的相应等级的掩模版附着颗粒物的比对标准，并将...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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