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具有场效整流元件的功率半导体结构及其制造方法技术
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文档序号:7091838
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一种具有一场效整流元件的功率半导体结构及其制造方法,所述功率半导体结构包括一漏极区、一本体区、一源极区、一栅极通道与一分流通道;其中,本体区位于漏极区的上方;源极区位于本体区内;栅极通道位于本体区内,且邻接于一栅极结构;分流通道位于本体区内...
该专利属于科轩微电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过科轩微电子股份有限公司授权不得商用。
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