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一种取像装置与方法制造方法及图纸
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文档序号:7090973
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本发明公开了一种取像装置,用以对待测物进行扫描,此取像装置通过于显微物镜组上方设置第二分光组件,以将工作光束分成第一子光束与第二子光束,并分别利用单色图像感测装置与彩色图像感测装置接收第一子光束与第二子光束,藉以获得单色干涉图像与不具干涉条...
该专利属于致茂电子(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过致茂电子(苏州)有限公司授权不得商用。
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