温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种能够准确地检查大型基板的基板检查装置及基板检查方法。本发明的基板检查装置(1)包括：输送台(131)，其以沿宽度方向彼此空有预定宽度的间隙的方式排列有形成基板输送面的多个浮板(132)，该基板输送面用于支承基板(W)；透过照明...
该专利属于奥林巴斯株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过奥林巴斯株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。