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圆片级玻璃微腔的可脱模发泡制备方法技术
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文档序号:7085066
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本发明公开一种圆片级玻璃微腔的可脱模发泡制备方法,包括以下步骤:在硅圆片上刻蚀微槽阵列得到硅圆片模具;在所述硅圆片模具的微槽阵列内放置热释气剂粉末;将硼硅玻璃圆片与所述硅圆片模具通过粘结层粘结在一起,使得硅圆片模具的微槽阵列密封;将粘结好的...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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