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表面形状的评价方法和表面形状的评价装置制造方法及图纸
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文档序号:7073019
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本发明涉及一种表面形状的评价方法和表面形状的评价装置。表面形状的评价方法具备以下步骤:向被评价物体的第一表面照射具有周期性亮暗的图案,接收经上述第一表面反射的图案的光来得到受光图案,将受光图像中的与照射到上述第一表面的图案的亮暗周期相对应的...
该专利属于旭硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭硝子株式会社授权不得商用。
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