下载用于提高档案光盘防水抗菌性能的溅镀膜及其制备方法的技术资料

文档序号:7071090

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本发明涉及一种用于提高档案光盘防水抗菌性能的溅镀膜及其制备方法,其技术要点是:该材料为SiO2/Si靶材;制备方法是将Si粉末和SiO2系玻璃粉末按摩尔比1∶1~9混合均匀,烧结形成的靶材,可通过超真空射频磁控溅射法,在光盘的聚碳酸酯读取表...
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