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本发明提供一种废气供给方法，利用反复进行由多个步骤构成的循环的变压吸附法，用填充了吸附剂的多个吸附塔（Ａ、Ｂ、Ｃ）从混合气体中浓缩分离目标气体时，将从该吸附塔（Ａ、Ｂ、Ｃ）排出的废气供给到废气消耗部件（１）。根据该方法，在构成所述循环的全部...
该专利属于住友精化株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友精化株式会社授权不得商用。

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