下载一种自支撑氮化镓双异质结声电荷输运延迟线的技术资料

文档序号:7046093

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本实用新型公开了一种自支撑氮化镓双异质结声电荷输运延迟线,其特征在于,包括自支撑氮化镓半绝缘型衬底,所述自支撑氮化镓半绝缘型衬底上设有缓冲层,所述缓冲层上设有第一氮化镓铝势垒层,所述第一氮化镓铝势垒层上设有氮化镓层,所述氮化镓层上设有第二氮...
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