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一种卷绕镀膜机上在线监测残余气体的方法技术
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文档序号:7042327
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本发明公开了一种在卷绕镀膜机上在线快速监测残留气体的方法,涉及真空镀膜领域与气体分析领域。由以下步骤完成:A)在卷绕镀膜机上的残余气体分析仪与感应探头以及计算机相连接;B)所述步骤A中的感应探头伸入到卷绕镀膜机上的放卷真空室中,对展开后快速...
该专利属于南昌欧菲光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南昌欧菲光科技有限公司授权不得商用。
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